1100℃滑軌式管式爐 - 合肥費舍羅智能裝備有限公司

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FGL（RTP）系列滑軌式管式爐(T max 1100℃)

滑軌管式爐一體化結構設計,用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移動爐體實現快速冷卻的目的。同時也可以預先設定溫度，然後移動到樣品處，達到快速升溫。高純石英管作為爐膛，無污染，抗急冷急熱性能好。設備外形精巧美觀，周邊拓展性好，适合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。

特點

u 工作溫度RT～1000℃

u 程序控溫儀控制精準、可編輯、儲存并調用多段程序

u 采用陶瓷纖維FEC加熱模塊，電阻絲内嵌式環繞加熱

u 爐殼結構，雙層爐殼風冷結構

u 不鏽鋼雙層密封法蘭，進、出氣美标針閥

u 超溫保護功能，當溫度超過允許設定值自動斷電

u額外選配：

1、爐内測量系統：（氧含量測量系統、溫度測量系統）

2、真空系統：（旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組）

3、氣氛系統：（浮子流量計、質量流量計）

4、監控系統：（溫度記錄儀、觸摸屏遠程監控）

注：選件需配置拓展櫃體

技術參數：

注：給出的設計溫度為工作管外測定，其它溫區個數和加熱區長度可根據客戶工藝要求定制。

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